Silicon processing for the vlsi era, vol. 2. Process integration / Wolf, Stanley (1990)

Silicon processing for the vlsi era, vol. 2. Process integration [texte imprimé] / Wolf, Stanley, Auteur . - Lattice Press, 1990 . - 753 p. : ill. ; 25 cm.
Bibliogr.-Index
Langues : Anglais (eng)

Mots-clés :	Microélectronique Circuits intégrés à très grande échelle Silicium
Index. décimale :	621.3.049.77 Micro-électronique.Circuits intégrés.
Note de contenu :	Summary: 1.Process Integration for VLSI and ULSI 2.Isolation Technologies for Integrated Circuits 3.Contact technology and lacal interconnects for VLSI 4.Multilevel interconnect technology for VLSI and ULSI 5.Mos devices and nmos process integration 6.CMOS process integration 7.Bipolar and BICMOS process integration 8.Semiconductor memory process inegration 9.Process simulation