Silicon processing for the vlsi era, vol 3. The submicron mosfet / Wolf, Stanley (1995)

Silicon processing for the vlsi era, vol 3. The submicron mosfet [texte imprimé] / Wolf, Stanley, Auteur . - Lattice Press, 1995 . - XXII-722 p. : ill. ; 24 cm.
ISBN : 978-0-9616721-5-7
Bibliogr. Index
Langues : Anglais (eng)

Mots-clés :	Circuits intégrés à très grande échelle Silicium Applications industrielles
Index. décimale :	621.3.049.77 Micro-électronique.Circuits intégrés.
Résumé :	The Submicron MOSFET. Treats the topics of submicron MOSFET device physics and the relationship between such device physics and submicron MOSFET fabrication. DLC: Integrated circuits -Very large scale.
Note de contenu :	Summary: 1.Role of process & device models in microelectronics technology 2.Numerical methods for solving the partial differential equations which model submicron devices and processes 3.Basic MOS physics & MOS capacitors 4.Long-channel MOSFETs 5.The submicron MOSFET 6.Isolation Structures in CMOS 7.Thin gate oxides: growth & reliability 8.Well formation in CMOS 9.Hot-carrier resistant processing & device structures
ISBN 13 :	978-0961672157