| Titre : |
Conception de microsystèmes sur silicium |
| Type de document : |
texte imprimé |
| Auteurs : |
Salvador Mir, Directeur de publication |
| Editeur : |
Paris : Hermes Science Publications |
| Année de publication : |
2002 |
| Autre Editeur : |
Paris : Hermes Science Publications |
| Collection : |
Traité EGEM |
| Sous-collection : |
Electronique et micro-électronique |
| Importance : |
224 p. |
| Présentation : |
ill. |
| Format : |
24 cm |
| ISBN/ISSN/EAN : |
978-2-7462-0506-2 |
| Note générale : |
Bibliogr. Index |
| Langues : |
Français (fre) |
| Mots-clés : |
Microtechniques
Microélectronique
Silicium -- Substrats |
| Index. décimale : |
621.3 Ingénierie électrique |
| Résumé : |
Cet ouvrage traite des microsystèmes sur silicum et leur conception. Ces dispositifs, intégrés aux circuits numériques, donnent une dimension nouvelle au systèmes mono puce en ajoutant des fonctionnalités à leur interface avec le monde réel. Présente les dispositifs et les techniques pour leur conception et leur fabrication. |
| Note de contenu : |
*Introduction aux microsystèmes sur silicium
*Les domaines d'applications des microsystèmes
*Les technologies de fabrication des microsystèmes
*La modélisation des microsystèmes électromécaniques
*La CAO des microsystèmes
*Les interfaces micro-électroniques |
Conception de microsystèmes sur silicium (2002)
