| Titre : |
Vacuum Technology, thin films, and sputtering : An introduction |
| Type de document : |
texte imprimé |
| Auteurs : |
Stuart.R.V., Auteur |
| Editeur : |
New York : Academic press |
| Année de publication : |
1983 |
| Importance : |
148 p. |
| Présentation : |
ill. |
| Format : |
20cm. |
| ISBN/ISSN/EAN : |
0-12-674780-6 |
| Langues : |
Anglais (eng) |
| Mots-clés : |
Mécanique,evaporation,vacuum technology |
| Index. décimale : |
621.5 Energie pneumatique. Machinerie et outils. Réfrigération |
Vacuum Technology, thin films, and sputtering : An introduction [texte imprimé] / Stuart.R.V., Auteur . - New York : Academic press, 1983 . - 148 p. : ill. ; 20cm. ISBN : 0-12-674780-6 Langues : Anglais ( eng) |  |
Vacuum Technology, thin films, and sputtering (1983)
